四合院：我是雨水表哥
第521章 昆仑机房开建

GCA301CGS的工作仅仅持续了不到10分钟，就完成了所有曝光。

刘高工按下暂停键。

“光刻完成。晶圆已取出，送显影。”

一片晶圆被从工件台上取下来，放进一个专门的盒子里，由一名技术员送到显影设备那边。

显影、定影、烘干。

技术员把处理好的晶圆放在显微镜下，刘高工凑过去看。

他看了几秒，直起腰，转过身。

“图形清晰，线条边缘整齐，无显影残留。光刻胶图形符合设计要求。”

首长点了点头，没说话。

接下来是刻蚀。

晶圆被送进刻蚀机，等离子体在真空腔体内生成，带着高能离子轰击晶圆表面，把没有被光刻胶保护的区域刻掉，留下精细的电路图案。

刻蚀完成后，光刻胶被去除。

技术员把晶圆放在显微镜下，这一次，看的时间更长。

“刻蚀深度符合要求，侧壁垂直度良好，无残留。第一层图案，成型。”

然后是薄膜沉积。

化学气相沉积设备在晶圆表面沉积一层二氧化硅，作为栅极绝缘层。

再沉积一层多晶硅，作为栅极材料。

然后是光刻、刻蚀、沉积、离子注入。

一层一层的电路，在晶圆上慢慢生长出来。

吕辰跟着人群，沿着生产线一步一步往前走。

光刻区、薄膜区、扩散区、金属化区。

每经过一道工序，晶圆就多一层图案，电路的雏形就多一分。

走到金属化区的时候，已经是中午了。

最后一层金属布线沉积完成，晶圆表面覆盖着一层银白色的铝膜，在灯光下反射着柔和的光泽。

技术员把晶圆放在显微镜下，刘高工凑过去看了很久。

然后他直起腰，转过身，看着陈光远。

“晶圆制造完成。电路图案完整，没有发现明显缺陷。可以送封装区了。”

陈光远点了点头，在笔记本上记了一笔。

“封装区准备。”

晶圆被送到封装区。

划片机把晶圆切割成一颗一颗的芯片，每一颗都只有几毫米见方。

键合机把金丝焊接到芯片的焊盘和封装基板的引脚之间。

封装机把芯片密封在陶瓷外壳里。

整个过程，大部分还是手工操作。

但今天只是第一版流片，几十颗样品，手工做就够了。

众人换下洁净服，出了制造中心，往产品中心走。

下午两点，第一颗封装好的KLSRAM芯片从封装区送了出来，送到产品中心测试区。

芯片不大，比指甲盖还小一点，银灰色的陶瓷封装，表面印着白色的丝印字。

KLSRAM。

陈光远把那颗芯片放在手心里，看了一眼，然后递给刘星海。

刘星海接过去，看了一眼，递给首长。

首长接过去，用拇指轻轻摩挲了一下封装表面，光滑，平整，没有毛刺。

他翻过来看背面，引脚光亮，排列整齐，间距均匀。

“测试。”他把芯片还给陈光远。

陈光远接过芯片，转交给早已带队等候的戚工。

戚工把芯片插到测试板上，测试板连着午马机，午马机的显示器上，测试程序已经加载好了。

他按下“启动”键。

午马机的屏幕上，一行一行的测试向量开始跳动。

地址00→写入55→读出55→校验通过。

地址00→写入AA→读出AA→校验通过。

地址01→写入55→读出55→校验通过。

地址01→写入AA→读出AA→校验通过。

......

一行一行，绿色的“PASS”在屏幕上不断刷新。

全地址读写测试，全部通过。

陈光远又换了一个测试程序。

数据保持测试。

写入数据，等待，读出。

等待时间从1毫秒开始，慢慢增加。

1毫秒，通过。

10毫秒，通过。

100毫秒，通过。

1秒，通过。

10秒，通过。

一直到100秒，读出数据依然正确。

静态随机存取存储器的数据保持能力，没有问题。

第三个测试程序。

环境适应性测试。

测试板被放进一个温箱里，温度从25度开始，慢慢往上加。

30度，通过。

40度，通过。

50度，通过。

60度，通过。

一直加到85度，芯片依然正常工作。

温度再往下走，零下10度，零下20度，零下40度。

全部通过。

戚工把测试数据汇总，写在笔记本上，然后转过身，看着所有人。

“KLSRAM，所有测试项目，全部通过。”

车间里安静了一瞬。

然后掌声响起来。

不是那种热烈的、喧闹的掌声，是一种很沉的、很重的掌声，像潮水一样，从人群最前面涌起来，一路往后推，填满了整个产品中心，然后往制造中心、动力中心扩散。

首长站在那里，拍着手，目光从每一张脸上扫过。

刘星海摘下眼镜，擦了擦镜片，又戴上。

夏先生靠在实验台旁边，嘴角微微翘着，眼眶有点红。

王先生站在人群后面，双手在胸前轻轻拍着，手指关节粗大，指甲剪得很短。

KLSRAM，静态随机存取存储器，存储容量不大，只有几Kbit。

但这是中国第一颗在2微米生产线上造出来的存储芯片。

掌声落下去之后，陈光远走到首长面前。

“首长，KLSRAM流片成功。6305厂2微米生产线，完成验收。”

首长点了点头，转过身，看着所有人。

“同志们，今天是个好日子。2微米线，跑通了。KLSRAM，造出来了。这是第一步。后面还有11颗芯片，还有昆仑1机，还有更多的事要做。”

他顿了顿，声音提高了一些。

“但我相信，你们能做出来。”

掌声又响起来了。

陈光远宣布暂时休息，大家去会议室开会。

产品中心的会议室是一个能容纳上百人的大房间。

长条桌摆成回字形，桌上铺着墨绿色的绒布，每个位置前放着一个军绿色的文件夹、一支铅笔、一个搪瓷缸子。

缸子里已经泡好了茶，茶叶梗浮在水面上，散发出一股茉莉花香。

刘星海坐在主位，左边是首长，右边是夏先生。

钱先生、王先生坐在夏先生旁边。

6305厂头头脑脑坐主席台对面，红星所集成电路实验室众人坐在左边，各家协作单位的代表坐另一边。

刘星海敲了敲桌子，会议室里安静下来。

“今天上午，KLSRAM流片成功，2微米线验收通过。这是昆仑工程的一个重要节点，但不是终点。下面，请夏先生汇报昆仑1机的总体进展情况。”

夏先生站起来，走到黑板前，拿起粉笔。

他在黑板上画了一个三层结构的示意图。

“昆仑1机的选址，在计算机所院内，梁先生专门为昆仑1设计的机房，是一个三层建筑。”

他在最下面一层画了一条横线。

“地下一层，是电缆沟和配电设备。所有的电源线、信号线、接地线，都走地下，独立检修通道。配电设备包括双路市电输入、柴油发电机组、飞轮储能系统、UPS不间断电源。确保昆仑1机在任何情况下都不会断电。”

他在中间一层画了一个大方块。